羅茨真空泵是在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率，但它不能單獨使用，必須有一臺前級真空泵串聯，待被抽系統中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許人口壓力時，羅茨真空泵才能開始工作，并且在一般情況下，羅茨真空泵不允許高壓差時工作，否則將會過載和過熱而損壞，因此使用羅茨真空；泵時必須合理地選用前級真空泵，安裝必要的保護設備。
羅茨真空泵一般為油封機械泵，但如果極限壓力要求不高時，可選用其他形式的粗真空泵作為前級泵。特別在抽除有大量水蒸汽的氣體時，選用水環真空泵作為前級泵是很理想的，當然所能達到的極限壓力要差些。
